不能将不防尘的产品(例如普通托盘和容器)带入无尘室,因此请务必使用特殊产品。如果采取防静电措施,例如导电材料和防静电工艺,以防止灰尘附着在表面上,则将可能进行更高级的清洁管理。
用于无尘室的导电塑料托盘是一种防止静电产生的对策产品。
用于存放洁净室晶圆的导电盒。由于可以密封,因此灰尘和污垢不会进入内部,从而防止了静电和微粒污染。
一种保护盒,该保护盒夹在上下两个薄膜之间,并固定在一个空间中。即使容器掉落,它也能吸收冲击力并且不会传递,因此内部的零件也不会损坏。
洁净室的纸管是使用洁净纸的低粉尘产生纸芯。由于它是抗静电产品,因此也可以用作抗静电措施。
用于洁净室的免刀粘尘纸卷在表面上的缠绕痕迹接缝处没有台阶。