洁净室中最大的污染源是工人的灰尘，包括人体和配件。工人灰尘的产生对于控制洁净室中的灰尘极为重要，洁净室工作服（干净的衣服）起着特别重要的作用。
洁净室工作服是低尘，无尘的衣服，不会产生灰尘或碎屑。它还可以防止静电。
防水且耐化学药品的洁净室工作服会拒水，不易弄脏，并防止静电带电。
具有耐热性和阻燃性的洁净室工作服是防静电，耐化学药品的无尘服，即使在高温下也不会融化和着火。
一次性洁净室口罩，可过滤98％或更多的灰尘和细菌。它对应于Class100。
即使使用溶剂，用于洁净室的橡胶手套也不会洗脱组分，不会留下非挥发性残留物NVR或残留物。
可与智能手机和触摸面板一起使用的无尘室手套是防静电布手套，可以防止ESD静电。
阻燃耐热的洁净室手套即使暴露在高温下也不会融化和燃烧，可防止工人烫伤。
洁净室用的布/织物由与洁净工作服相同的材料制成，并且是防止灰尘，污垢和棉绒带静电的薄片。
