操作员:人是最大的静电源。人们在行走和工作时会产生静电,触摸或接近微电子设备时可能会产生静电。为减少人为因素,您必须穿着防静电服,手套和防静电鞋,戴上防静电手链/脚链并可靠接地。养成良好的工作习惯,并在没有防静电措施或不完善措施的情况下远离静电敏感产品。
设备:为了提高企业的生产能力,许多过程使用自动化设备。这些设备的运行会产生大量静电。在微电子设备的处理期间,各种过程将释放静电,并且大量微电子设备将发生故障。所有设备,仪器,手术台,凳子和架子都必须可靠接地。移动旋转手推车等。还应通过安装静电释放装置将其接地。
材料:工作台面和周转箱/包装箱在操作环境中均由抗静电/导电材料制成。
环境:静电的产生与环境湿度成正比,即湿度越高,产生的静电越少。但是,高湿度环境很容易导致生锈和腐蚀。综合考虑,电子生产车间的湿度通常保持在30%-70%RH。此外,离子风扇还可用于中和静电荷。