湿度控制对于有效的ESD程序很重要，原因有两个：
在较低的湿度水平（<30％RH）下，不会产生通常产生的静电荷的耗散，因此增加了ESD事件的可能性。
材料（例如粉红色聚）依靠空气中的水分与材料的抗静电剂结合，从而在材料的整个表面上形成微观导电层。在较低的湿度（通常低于15％RH）下，这些抗静电材料可能会带电，从而产生ESD危害。
EPA中的最佳相对湿度为50％（正负10％）。
当湿度低于RH的30％时，应使用特殊的控制和程序（例如空气电离和提高对摩擦带电的更大潜力的认识）来加工ESDS设备和组件。如果不是基于班次的工作，则设施ESD监控器必须在每次班次或操作之前验证湿度，除非自动低湿度警报系统正在监控工作区域。强烈建议设施空气处理器包括自动加湿器以保持湿度控制。EPA应将相对湿度控制在30％至70％的相对湿度范围内。
空气离子发生器可以通过对周围区域的分子进行充电来中和绝缘体或隔离物体上的静电荷，从而使累积的电荷被中和。当无法使用前述方法和设备将工作站上的所有物体正确接地或作为这些方法的支持时，通常使用空气离子发生器。
例如，大多数胶带都是非导体，如果在紧邻ESDS设备的地方使用，则需要电离器来中和胶带上的电荷。在1级设施中进行工作时，应始终使用电离器，并且在需要时，必须在2级设施中使用离子发生器。在某些产生静电的制造操作中特别需要离子发生器，例如蒸气脱脂，真空包装，喷涂保形涂层，波峰焊以及使用加压气枪。此外，当湿度低于RH的30％时，电离器是公认的静电抑制剂。任何对250伏以下的损坏敏感的零件都要求在将零件从其ESDS包装中取出时随时使用离子发生器。需要校准空气电离器以验证平衡和性能。
