微电子设备的静电保护

微电子设备在业界被称为静电敏感设备。一般而言，诸如场效应器件和双极器件之类的微电子器件具有较弱的抗静电能力，并且人体或器件本身的静电足以造成器件损坏。如果没有保护措施，微电子设备很可能会因静电而失去功能，从而影响产品质量。一般来说，微电子设备对静电放电非常敏感。由于微电子装置的尺寸小，因此难以从其外观来判断其是否已经失效。唯一的方法是通过技术测量来检测其特定参数和条件，并判断微电子设备是否完好无损。因此，

静电危害的特征：

隐蔽性：除非发生静电放电，否则人体无法直接感应到静电，但是当人体发生静电放电时，由于人体感应到的静电放电电压为2-3 KV，因此人体可能不会受到电击。

潜伏性：某些电子组件在被静电损坏后并不会显着降低性能，但是多次累积放电会导致内部组件损坏并形成隐患。

随机性：在什么情况下电子元件会被静电损坏？可以说，从部件的产生到损坏的所有过程都受到静电的威胁，这些静电的产生也很灵活。

复杂性：由于电子产品的细，薄和微小的结构特征，对静电放电损坏的故障分析是费时，费力且昂贵的。它要求很高的技术要求，并且经常需要使用诸如扫描电子显微镜之类的高精度仪器。即使这样，某些静电损坏现象也很难与其他原因造成的损坏区分开，使人们错误地认为静电损坏故障是其他故障。这通常归因于早期故障或在完全认识到静电放电造成的损坏之前在未知条件下的故障，因此无意识地掩盖了故障的真正原因。

微电子静电防护：

FC-002B

离子气吧

02

SL-006C离子发生器

操作员：人是最大的静电源。人们的活动和工作会产生静电，当接触或接近微电子设备时可能会产生静电。为减少人为因素，必须穿着防静电工作服，手套和防静电鞋，并佩戴防静电腕带/脚环，并可靠接地。养成良好的工作习惯，并在没有防静电措施或不完整措施的情况下远离对静电敏感的产品。

设备：为了提高企业的生产能力，自动化设备被用于许多过程中，这些设备的运行会产生大量的静电。在微电子设备的处理中，各种过程将释放静电，并且大量的微电子设备将发生故障。所有设备，仪器，工作台，凳子和架子必须可靠接地。移动的手推车等也必须通过安装静电放电接地。

材料：在操作环境中使用抗静电/静电材料制成工作台面，周转箱/包装箱。

环境：静电的产生与环境湿度成正比，即湿度越高，产生的静电越少。但是，高湿环境容易生锈和腐蚀。综合考虑，一般电子生产车间的湿度保持在30％-70％RH。另外，离子风扇也可用于中和静电荷。

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